МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЕЛИЧИН КОЭФФИЦИЕНТОВ ОТРАЖЕНИЯ И ПРОПУСКАНИЯ ДЛЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ
(Стр. 14-20)

Подробнее об авторах
Аракелян Сергей Мартиросович доктор физико-математических наук, профессор
Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия Бутковский Олег Ярославович доктор физико-математических наук, профессор
Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия Бурцев Антон Андреевич инженер
Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия Лысенко Сергей Леонидович кандидат физико-математических наук, заместитель начальника научно-исследовательского отдела
Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия Панков Михаил Александрович кандидат физико-математических наук, доцент; заместитель начальника отдела
Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия; Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия Притоцкий Егор Михайлович аспирант; инженер
Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия; Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия Притоцкая Анастасия Павловна аспирант; инженер
Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия; Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия
Чтобы читать текст статьи, пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите в систему
Аннотация:
Разработан способ расчета многослойных покрытий с заданными оптическими параметрами, проведено моделирование высокоотражающих покрытий и их воспроизведение на вакуумно-технологическом оборудовании методом ионно-плазменного напыления. Особенностью данного способа является использование модельной функции электромагнитной волны, в которой поглощение зависит только от координаты, нормальной к поверхности. Такой подход соответствует ситуации, когда поперечные размеры пучка много больше толщин покрытий, и позволяет учитывать тот факт, что амплитуда электромагнитной волны одинакова в различных точках на равном удалении от поверхности. На основе предложенного способа расчета предложен метод бесконтактного контроля толщин тонких пленок путем сравнения фактических и расчетных оптических характеристик отдельных слоев покрытий. Проведено сравнение экспериментальных коэффициентов пропускания многослойных зеркал с данными расчетной модели.
Образец цитирования:
Аракелян С.М., Бутковский О.Я., Бурцев А.А., Лысенко С.Л., Панков М.А., Притоцкий Е.М., Притоцкая А.П., (2017), МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЕЛИЧИН КОЭФФИЦИЕНТОВ ОТРАЖЕНИЯ И ПРОПУСКАНИЯ ДЛЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ. Computational nanotechnology, 4: 14-20.
Список литературы:
Яковлев П.П., Мешков Б.Б. Проектирование интерференционных покрытий / Серия: Библиотека приборостроителя. - М.: Машиностроение, 1987, с. 185.
Ершов А.В., Машин А.И. Многослойные оптические покрытия. Проектирование, материалы, особенности технологии получения методом электроннолучевого испарения. Учебно-методические материалы по программе повышения квалификации «Новые материалы электроники и оптоэлектроники для информационно-телекомуникационных систем». Нижний Новгород, 2006.
Reflectance Calculator, Режим доступа: filmetrics.com/reflectance-calculator.
Furman Sh. and Tikhonravov A.V., Basics of optics of multilayer systems, Editions Frontiers, Gifsur Yvette, 1992.
Путилин Э.С. Оптические покрытия, Учебное пособие. Санкт- Петербург. 2010.
Астахов А. В., Широков Ю. М. Курс физики, Т. II, Электромагнитное поле. - М.: Наука, 1980. - 360 с.
Фейнман Р. Глава 27. Энергия поля и его импульс. § 3. Плотность энергии и поток энергии в электромагнитном поле // Лекции по физике. - Вып. 4. - М.: Мир, 1965. - Т. 6. Электродинамика. - С. 286-290. - 340 с.
Прохоров М. Рефракция (преломление света) // Большая советская энциклопедия (в 30 т.) / гл. ред. А. М. Прохоров. - 3-е изд. - М.: Советская энциклопедия, 1969-1978.
Борн М., Вольф Э. Основы оптики. - М.: Наука, 1973. - 720 с.
Притоцкий Е.М., Притоцкая А.П. Компьютерное моделирование взаимодействия света с наноразмерными структурами // Computational nanotechnology, №3, 2016, с. 250-252.
Притоцкий Е.М., Притоцкая А.П., Панков М.А. Многослойные диэлектрические зеркала для мощных полупроводниковых лазеров // Computational nanotechnology, №2, 2017, с. 94-96.
Ключевые слова:
отражение, пропускание, многослойная оптика, лазерное излучение.